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PHS樹脂

一、產(chǎn)品性能與用途

PHS樹脂是一種用于深紫外光刻膠的高性能感光樹脂,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造中的光刻工藝環(huán)節(jié)。其核心性能包括高純度、高分辨率、優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性,能夠滿足半導(dǎo)體制造對(duì)高精度、高可靠性的嚴(yán)苛要求,有效提升光刻膠在芯片圖案化過程中的成像質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性。此外,還可用于電子封裝材料、涂料和粘合劑等領(lǐng)域。

二、技術(shù)指標(biāo)

檢測項(xiàng)目 指標(biāo)-1 指標(biāo)-2
外觀 淡黃色透明液體 淡黃色透明液體
固含量/% ≥35.0 ≥35.0
重均分子量(Mw) 10000±2000 14000±1000
分子量分布寬度(PD) ≤1.55 ≤1.25
單金屬離子含量/ppb <10 <10

注:可根據(jù)客戶要求定制不同結(jié)構(gòu)、分子量、金雜含量的產(chǎn)品。

三、包裝與貯存

包裝:采用電子級(jí)塑料桶包裝,每桶重量1kg、2kg、5kg、10kg或20kg。可根據(jù)客戶需求定制。貯存:陰涼處儲(chǔ)存,避免陽光直射,遠(yuǎn)離熱源,貯存期12個(gè)月。

四、安全防護(hù)

操作時(shí)注意勞動(dòng)保護(hù),應(yīng)避免與皮膚、眼睛等直接接觸,接觸后用大量清水沖洗。

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